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LED 灯芯检测平台

ZWDM-G5

应用场景

适用于大型面板灯芯检测行业

LED 灯芯检测平台

产品介绍

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产品特点

精密直线导轨

无铁芯电机

超高的速度稳定性

兼顾大行程、高精度、重负载

超大检测幅面

可定制小世代至大世代多种机型


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结构特点

龙门结构,稳定性高

低阿贝误差

平台结构紧凑,有较强的驱动能力


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定制化

可以根据客户需求配置、行程、负载、

特殊结构等进行评估定制


产品参数

平台型号

ZWDM-G5

轴向

X0轴

Y0轴

Y1轴

ZO轴

Z1轴

负载

30 kg

12 Kg

40 kg

30 kg

12 kg

定位精度

+/- (3+L/250) um

+/- 15 um

+/- 10 um

12 mmMinimum

12 mmMinimum

行程

2050

更新为1400mm

194mm

-

-

直线轴长度

3140 mm

mm

mm

-

-

滑台长度

890 mm

230 mm

mm

-

-

分辨率

5 nm or better

0.1um or better

0.1um or better

0.2 um

0.2 um

加速度

0.5G(Average)@66.7% Jerk

0.5G (Average)@66.7% Jerk

0.25G (Average)@66.7% Jerk

50 mm/sec^2

50 mm/sec^2

速度

1000 mm/s(Max)

1000 mm/s (Max)

500 mm/s (Max)

-

-

速度波动

0.2%Max@Velocity=400mm/s

-

-

-

-

重复定位精度

+/-1um

+/-1 um

+/-1 um

+/-1um

+/- 0.1 um

垂直直线度

+/-15 um

+/-10 um

+/- 12 um over fullrange

-

-

水平直线度

+/- 2 um over200mm+/- 15 um over full range

+/-10 um

+/- 10 um

-

-

整定时间

200 msec @ 0.2ump-p

200 msec @0.2ump-p

200 msec @0.2ump-p

-

-

XOY0正交

20um p-p


-

-


外形尺寸

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