产品特点 精密直线导轨 无铁芯电机 超高的速度稳定性 兼顾大行程、高精度、重负载 超大检测幅面 可定制小世代至大世代多种机型 | 结构特点 龙门结构,稳定性高 低阿贝误差 平台结构紧凑,有较强的驱动能力 | 定制化 可以根据客户需求配置、行程、负载、 特殊结构等进行评估定制 |
平台型号 | ZWDM-G5 | ||||
轴向 | X0轴 | Y0轴 | Y1轴 | ZO轴 | Z1轴 |
负载 | 30 kg | 12 Kg | 40 kg | 30 kg | 12 kg |
定位精度 | +/- (3+L/250) um | +/- 15 um | +/- 10 um | 12 mmMinimum | 12 mmMinimum |
行程 | 2050 | 更新为1400mm | 194mm | - | - |
直线轴长度 | 3140 mm | mm | mm | - | - |
滑台长度 | 890 mm | 230 mm | mm | - | - |
分辨率 | 5 nm or better | 0.1um or better | 0.1um or better | 0.2 um | 0.2 um |
加速度 | 0.5G(Average)@66.7% Jerk | 0.5G (Average)@66.7% Jerk | 0.25G (Average)@66.7% Jerk | 50 mm/sec^2 | 50 mm/sec^2 |
速度 | 1000 mm/s(Max) | 1000 mm/s (Max) | 500 mm/s (Max) | - | - |
速度波动 | 0.2%Max@Velocity=400mm/s | - | - | - | - |
重复定位精度 | +/-1um | +/-1 um | +/-1 um | +/-1um | +/- 0.1 um |
垂直直线度 | +/-15 um | +/-10 um | +/- 12 um over fullrange | - | - |
水平直线度 | +/- 2 um over200mm+/- 15 um over full range | +/-10 um | +/- 10 um | - | - |
整定时间 | 200 msec @ 0.2ump-p | 200 msec @0.2ump-p | 200 msec @0.2ump-p | - | - |
XOY0正交 | 20um p-p | - | - |