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ZWDM-X400-Y600

应用场景

适用于晶圆划片、晶圆检测等多种半导体行业

产品介绍


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产品特点

精密直线导轨

超高直线度

开放式结构、低侧向高度

更好的几何性能和更高的承载能力


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结构特点

XY一体式设计直驱平台

水平直线度小于 ±lum

具备集中注油、金属接地等辅助功能


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定制化

可以根据客户需求配置、行程、负载、

特殊结构等进行评估定制


产品参数

平台型号

ZWDM-X400-Y600

轴向

X轴

Y 轴

有效行程

400mm

600 mm

重复定位精度

≤±1μm

补偿后定位精度

≤±1μm

水平直线度

≤±1μm (1.5μm/中间200行程内)

≤±1μm

垂直直线度

≤ ±1.5μm

≤±1.5μm

XY间垂直度

≤5μm

最高速度

1000mm/s

300mm/s

最大加速度

2G

0.5 G

负载

25kg

线长

拖链外3m

电机参数

冷却方式

自冷

水冷

持续推力

722.6 N

1159.3N

峰值推力

1610.5N

力常数±10%

153.0 N/Arms

反电势常数±10%

124.9 Vpeak/(m/s)

电机常数@25℃

58.2 N/Sqrt (W)

相间电阻 @25℃

4.6Q

相间电感±30%

116.0 mH

持续电流

4.8 Arms

8.2 Arms

峰值电流

14.4 Arms

持续热功率

204.9W

597.9 W

热耗散常数

2.8W/°℃

8.0 W/°℃

注释:以上测试数据在实验室环境下,测试点位于中心点上方25mm处,由线性放大器得出


外形尺寸

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