麦米电气旗下品牌
股票代码：002851
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产品特点 纳米级定位精度的垂直运动Z向平台 直线电机驱动 采用交叉滚柱导轨 具备非常优秀的动态性能和定位精度 分辨率 1nm 重复定位精度 ±100nm 定位精度 ±200nm |
结构特点 高精度直驱升降台 高动态性能(空载截止频率大于 120Hz) 低侧向高度，适合空间紧凑应用场景 可内置气动平衡，最大负载 15kg 在位稳定性 5nm1(配置线性驱动器，带隔振 实验室环境) |
定制化 更大行程可接受定制 |
平台型号 | ZWLM-PlaneZ-10 |
有效行程 | 10 mm |
绝对定位精度 | ±300 nm |
双向重复定位精度 | ±150 nm |
俯仰 | 20 arc sec |
偏摆 | 20 arc sec |
直线度 | ±2 μm |
最大负载 | 8 kg |
分辨率 | 1nm |
最小步进量 | 5 nm |
在位稳定性 | 5nm |
最大速度 | 5 mm/s |
最大加速度 | 0.7g |
持续推力 | 20 N |
峰值推力 | 45 N |
平台质量 | 6.2 kg |
供气要求 | 80psit5psi,加小于0.25μm空气过滤器 |
平台材质 | 铝 |
平均无故障时间 | 20000 Hours |
备注:
(1)平行或垂直于楔形块方向测量;
(3)空载测试;
(2)适配 -AS反馈，配置线性放大器;
(4)其他行程可定制。
(5)默认测试点位置为台面上方 25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;
