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Plane-XY

应用场景

测量、晶圆检测、表面粗糙度检测、激光切割等需要纳米级定位精度的工业领域和科研项目

产品介绍


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产品特点

开放式结构

XY 一体式设计直驱平台

底轴双电机驱动

动态性能出色

更好的几何性能和更高的承载能力

兼顾大行程、高精度、重负载、低侧向高度


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结构特点

低侧面高度

阿贝误差小

平台结构紧凑,有较强的驱动能力

下轴采用双电机驱动

上下轴空载最大速度均可达到 2000mm/s

空载加速度可达 2g 电子分辨率 1nm

最小步进小于 20nm


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定制化

更大行程可接受定制


产品参数

平台型号

ZWLM-Plane-XY-150

ZWLM-Plane-XY-250

ZWLM-Plane-XY-350

有效行程

150 mmx150 mm

250 mmx250 mm

350mmx35 0mm

定位精度

±0.3um

±0.3 um

±0.3 um

双向重复定位精度

±0.15 um

±0.15 um

±0.15um

俯仰

7 arc sec

9 are sec

11 are sec

偏摆

7 arc sec

9 are sec

11 are sec

直线度

±1.5 um

±2um

±2.5 um

分辨率

1nm

最大加速度

2g

最大速度

2000mm/s

最大水平负载

45 KG

45 KG

45 KG

持续推力

上 轴:153N下轴:306N

峰值推力

上 轴:864N 下轴:1728 N

最小步进量

20nm

平台质量

30 KG

40 KG

50 KG

平台材质

平均无故障时间

27000 Hours


注释:以上测试数据在实验室环境下,测试点位于中心点上方25mm处,由线性放大器得出


外形尺寸

ZWLM-Plane-XY150x150

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ZWLM-Plane-XY250x250

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ZWLM-PlaneD-XY350x350

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