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ZTT

应用场景

光源对准/晶圆检测等领域

产品介绍


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产品特点

多轴联动控制

音圈电机驱动

光栅闭环反馈

高可靠性驱动机构

优秀的微动精度和动态性能

使用寿命长


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结构特点

柔顺机构

磁力平衡负载

实现大角度调平

实现大负载调平

快速平稳,结构紧凑


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定制化

更大行程可接受定制


产品参数

平台型号

ZWLM-ZTT-4

轴向

Z

0X

0Y

有效行程

4

定位精度

±0.5 um

-

-

重复定位精度

±0.25 um

±1.5 arc sec

±1.5 arc sec

俯仰

±10 arc sec

-

-

偏 摆

±10 arc sec

-

-

直线度

±1.5 um

-

-

平面度

±1.5 um

-

-

最大速度

1g

-

-

最大加速度

200mm/s

-

-

最小步进量

100nm

1arc sec

1arc sec

最大负载

10Kg

平台质量

6.5Kg

平台材质

平均无故障时间

27000 Hours


注释:以上测试数据在实验室环境下,测试点位于中心点上方25mm处,由线性放大器得出

外形尺寸

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