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ZWM165LS

应用场景

OLED 切割 / PCB 钻孔 / 数控加工 / 生物技术 / IC 封装 / 晶圆检测 ……

产品介绍


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产品特点

直驱电机高精度定位平台

高性能低成本解决方案

高刚性机械结构

灵活的配置选择(拥有不同的行程与宽度)

优秀的线缆管理


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结构特点

采用直线电机驱动

速度快

动态性能好

摩擦力小

易于实现精密位置控制

非常适合行程较大、高精度和高速度的应用


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定制化

更大行程可接受定制


产品参数

平台型号

ZWM165LS

-100

ZWM165LS

-200

ZWM165LS

-300

ZWM165LS

-400

ZWM165LS

-500

ZWM165LS

-600

ZWM165LS

-800

ZWM165LS

-1000

有效行程

100 mm

200 mm

300 mm

400 mm

500 mm

600 mm

800 mm

1000 mm

定位精度

+1um

±1.5 um

±1.5 um

±1.5 um

±2 um

±2um

±2 um

±2um

双向重复定位精度

±0.4 um

±0.5 um

±0.5 um

±0.5 um

±0.5 um

±0.5 um

±0.5 um

±0.5 um

俯仰

6 arc sec

8.5 arc sec

12 arc sec

14.5 arc sec

16.5 arc sec

19 arc sec

21 arc sec

25 arc sec

偏摆

6 arc sec

8.5 arc sec

12 arc sec

14.5 arc sec

16.5 arc sec

19 arc sec

21 arc sec

25 arc sec

横滚

6 arc sec

8.5 arc sec

12 arc sec

14.5 arc sec

16.5 arc sec

19 arc sec

21 arc sec

25 arc sec

直线度

±2.5 um

±4 um

±6 um

±8 um

±9 um

±10 um

±12 um

±14 um

分辨率

1nm

最大加速度

2g

最大速度

2m/s

最大水平负载

45 kg

最大径 向 负载

45 kg

持 续 推 力

104 N

峰值 推 力

576 N

最小 步进 量

75 nm

平 台 质 量

8kg

9.7 kg

11.4 kg

13.1 kg

15.5 kg

18.1kg

20.4 kg

22.7 kg

平台材质

平均无故障时间

20000 Hours


注释:以上测试数据在实验室环境下,测试点位于中心点上方 25mm处,由线性放大器得出

外形尺寸

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