产品特点 直驱电机高精度定位平台 高性能低成本解决方案 高刚性机械结构 灵活的配置选择(拥有不同的行程与宽度) 优秀的线缆管理 | 结构特点 采用直线电机驱动 速度快 动态性能好 摩擦力小 易于实现精密位置控制 非常适合行程较大、高精度和高速度的应用 | 定制化 更大行程可接受定制 |
平台型号 | ZWM165LS -100 | ZWM165LS -200 | ZWM165LS -300 | ZWM165LS -400 | ZWM165LS -500 | ZWM165LS -600 | ZWM165LS -800 | ZWM165LS -1000 |
有效行程 | 100 mm | 200 mm | 300 mm | 400 mm | 500 mm | 600 mm | 800 mm | 1000 mm |
定位精度 | +1um | ±1.5 um | ±1.5 um | ±1.5 um | ±2 um | ±2um | ±2 um | ±2um |
双向重复定位精度 | ±0.4 um | ±0.5 um | ±0.5 um | ±0.5 um | ±0.5 um | ±0.5 um | ±0.5 um | ±0.5 um |
俯仰 | 6 arc sec | 8.5 arc sec | 12 arc sec | 14.5 arc sec | 16.5 arc sec | 19 arc sec | 21 arc sec | 25 arc sec |
偏摆 | 6 arc sec | 8.5 arc sec | 12 arc sec | 14.5 arc sec | 16.5 arc sec | 19 arc sec | 21 arc sec | 25 arc sec |
横滚 | 6 arc sec | 8.5 arc sec | 12 arc sec | 14.5 arc sec | 16.5 arc sec | 19 arc sec | 21 arc sec | 25 arc sec |
直线度 | ±2.5 um | ±4 um | ±6 um | ±8 um | ±9 um | ±10 um | ±12 um | ±14 um |
分辨率 | 1nm | |||||||
最大加速度 | 2g | |||||||
最大速度 | 2m/s | |||||||
最大水平负载 | 45 kg | |||||||
最大径 向 负载 | 45 kg | |||||||
持 续 推 力 | 104 N | |||||||
峰值 推 力 | 576 N | |||||||
最小 步进 量 | 75 nm | |||||||
平 台 质 量 | 8kg | 9.7 kg | 11.4 kg | 13.1 kg | 15.5 kg | 18.1kg | 20.4 kg | 22.7 kg |
平台材质 | 铝 | |||||||
平均无故障时间 | 20000 Hours |
注释:以上测试数据在实验室环境下,测试点位于中心点上方 25mm处,由线性放大器得出