有效行程

300 mm

400 mm

500 mm

600 mm

700 mm

800 mm

定位精度

±1um

±1um

±2 um

±2 um

±2 um

±2 um

双向重复定位精度

±0.5 um

±0.5 um

±0.6 um

±0.6 um

±0.6 um

±0.8 um

俯仰

12 arc sec

16 arc sec

18 arc sec

20 arc sec

22 arc sec

25 arc sec

偏摆

12 arc sec

16 arc sec

18 arc sec

20 arc sec

22 arc sec

25 arc sec

横滚

12 arc sec

16 arc sec

18 arc sec

20 arc sec

22 arc sec

25 arc sec

直线度

±4 um

±4 um

±6 um

±6.5 um

±7um

±8 um

分辨率

100 nm

最大加速度

3g

最大速度

2 m/s

最大水平负载

150 kg

最大径向负载

150 kg

持续推力

255 N

峰值推力

1440 N

最小步进量

200 nm

平台质量

55 kg

60 kg

65 kg

71 kg

76 kg

81 kg

平台材质

铝

平均无故障时间

27000 Hours