有效行程

100 mm

200 mm

300 mm

400 mm

500 mm

600 mm

800 mm

1000 mm

定位精度

±1um

±1um

±1um

±1um

±1um

±1um

±1.5 um

±1.5 um

双向重复定位精度

±0.3um

±0.4 um

±0.4 um

±0.4 um

±0.4 um

±0.4 um

±0.5 um

±0.5 um

俯仰

6 arc sec

8 arc sec

10.5 arc sec

12 arc sec

14 arc sec

16 arc sec

20 arc sec

24 arc sec

偏摆

6 arc sec

8 arc sec

10.5 arc sec

12 arc sec

14 arc sec

16 arc sec

20 arc sec

24 arc sec

横滚

6 arc sec

8 arc sec

10.5 arc sec

12 arc sec

14 arc sec

16 arc sec

20 arc sec

24 arc sec

直线度

±1.5um

±2.5 um

±3.5 um

±4.5 um

±5.5 um

±6.5 um

±8 um

±10 um

分辨率

1nm

最大加速度

2g

最大速度

2 m/s

最大水平负载

45 kg

最大径向负载

45 kg

持续推力

130 N

峰值推力

720 N

最小步进量

75 nm

平台质量

14.5 kg

16.8 kg

19.4 kg

21.8 kg

24.2 kg

26.6 kg

29.4 kg

32 kg

平台材质

铝

平均无故障时间

27000 Hours