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ZMS

应用场景

半导体领域的缺陷检测,光学透镜检测和精密加工等,为其提供Z向精密定位

产品介绍


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产品特点

高精度直线导轨

伺服电机驱动

光栅闭环反馈

高可靠性驱动机构

带断电抱闸功能,防止重物掉落

使用寿命长


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结构特点

采用楔形平升机构

直接移动负载

在一个长行程的移动范围,保持尽可能短的高度

优化了系统误差影响,有助于提高整体精度性能


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定制化

更大行程可接受定制


产品参数

平台型号

ZWLM-ZMS-23

有效行程

23 mm

定位精度

±2 um

双向重复定位精度

±1um

直线度

±2 um

分辨率

0.1 um

最大加速度

1g

最大速度

30mm/s

最大水平负载

60KG

平台质量

50KG

平台材质

平均无故障时间

27000 Hours


注释:以上测试数据在实验室环境下,测试点位于中心点上方 25mm处,由线性放大器得出

外形尺寸

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