有效行程

50 mm

100 mm

150 mm

200 mm

250 mm

300 mm

定位精度

±0.75 um

±1um

±1um

±1.5 um

±1.5 um

±1.5 um

双向重复定位精度

±0.4 um

±0.4 um

±0.4 um

±0.5 um

±0.5 um

±0.5 um

俯仰

4 arc sec

6 arc sec

8 arc sec

10 arc sec

11 arc sec

12 arc sec

偏摆

4 arc sec

6 arc sec

8 arc sec

10 arc sec

11 arc sec

12 arc sec

横滚

4 arc sec

6 arc sec

8 arc sec

10 arc sec

11 arc sec

12 arc sec

直线度

±1.5 um

±2.5 um

±3 um

±4 um

±5 um

±6 um

分辨率

1nm

最大加速度

3g

最大速度

2m/s

最大水平负载

40 KG

最大径向负载

40 KG

持续推力

26 N

峰值推力

144 N

最小步进量

75 nm

平台质量

5.1 kg

5.7 kg

6.2 kg

6.8 kg

7.4 kg

8.1 kg

平台材质

铝

平均无故障时间

20000 Hours