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IC载板 LDI曝光气浮平台

ZWDM-2K600-Z10-X160-Y1350-LDI

应用场景

主要应用在半导体生产线、微电子生产、LCD 显示、LCD 显示、线路板生产、PCB 产品等要求高精度和高效率工业项目中。

IC载板 LDI曝光气浮平台
首页 行业解决方案 半导体、LCD 显示、PCB 产品

产品介绍

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产品特点

高动态性能

XY采用全环绕式气浮导轨，稳定性好

选用高精度零膨胀光栅反馈，膨胀系数底，

受温漂影响小

Z 轴使用磁力弹簧平衡负载，可定制

行程、尺寸和线缆可根据客户要求定制


1726209533.png

结构特点

多轴气浮平台，采用气浮 XY 叠加结构

横梁侧挂 K轴和Z轴(机械导轨)

无铁芯直线电机直驱控制，无齿槽效应

在低速下可平滑运行(速度波动小)

同时配备非接 触式高精度光栅尺，具备非常

优秀的动态性能、定位精度和重复定位精度

多轴气浮平台选用高精度光栅位置反馈

全行程重复性小于 0.5um，

定位精度小于 1um。


1726209553.png

定制化

可以根据客户需求配置、行程、负载、

特殊结构等进行评估定制


产品参数

平台型号

ZWDM-2K600-Z10-X160-Y1350-LDI

轴向

X轴

Y轴

Z轴XY平台上

Z轴挂载横梁上

K轴上的Z轴

K1/K2轴

小X轴

行程

160mm

1350 mm

10 mm

10 mm

20 mm

800 mm

700 mm

形式

-

-

-

双电机双光栅

-

-

-

负载

≥Z轴+10Kg

≥ 10 Kg

≥10KG

≥30KG

≥3KG

3(侧挂)+小Z轴

3(侧挂)

编码器分辨率

0.05um

0.05 um

-

0.1um

20 um

0.1um

0.1um

最小步进

0.5 um

0.25 um

20 um

0.5 um

20 um

0.5um

0.5um

线性定位精度

1um

1um

6 um

5 um

6 um

4um

4um

双向重复性

0.5 um

0.5 um

4um

3 um

4um

2um

2um

最大速度

300mm/s

300mm/s

15 mm/s

-

-

8um

8um

最大加速度

0.2 mm/s2

2000 mm/s2

-

-

-

8 um

8um

+0.5um 位置阈值的整定时间(s)

<0.1S/1mm

<0.1S/150 mm

<0.1S/1mm

<0.1S/500 mm

-

-

-

-

-

速度稳定性

-

<0.5%(30-300mm/s)

-

-

-

-

-

控制器PSO


分辨率0.05um

-

-

-

-

-


-

脉冲输出频率≥2.4MHz

-

-

-

-

-

双向直线度

-

-

-

3um

-

-

-

水平直线度

-

-

8 um

8 um

8 um

-

-

垂直直线度


-

8 um

8 um

8 um

-

-

yaw

-

-

8 arc sec

2.5 arc sec

10 arc sec

6 arc sec

6 arc sec

pitch


-

8 arc sec

8 arc sec

10 arc sec

8 arc sec

8 arc sec

roll

-

-

-

-

-

8 arc sec

8 arc sec

最大速度

-

-

15 mm/s

15 mm/s

15 mm/s

500 mm/s

500 mm/s

最大加速度

-

-

-

-

-

4000 mm/s2

4000 mm/s2

K1、K2 轴与Y轴垂
直度(正交性)

-

-

-

-

-

3 arc sec

-

±0.5um位置阈值的整定时间

-

-

-

-

-

<0.1/50mm<0.1/700mm在 500mm/s,0.5G加速度,50000加加速度,挂负载情况下

小X轴与Y轴垂直度

-

-

-

-

-

-

3 arcsec

与K轴正交性

-

-

-

-

20 arc sec

-

-


外形尺寸

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