轴向

Y轴(下轴)

行程

810mm(有效行程770mm)

负载

110Kg

最大速度

0.5m/s

最大加速度

0.5g

水平直线度

±2.5 um

垂直直线度

±2.5 um

重复定位精度

±2μm

补偿后定位精度

±5μm

偏摆(Yaw)

±3 arc sec

俯 仰 (Pitch)

±3arc sec

运动模式

0.5秒运动300mm,停留1.5秒,循环运动

电机型号

ZWU-30B-4

绕组代号

S

最大推力

1152 N

连续推力

204 N

最大功率

1728 W

连续功率

306 W

正向吸力

ON

最大电流

14.3 Arms

连续电流

2.54 Arms

推力常数

80.6 N/Arms

线反电动势系数

6 Vpeak/m-s^-1

线电阻

13.2 Ohms

线电感

4.28 mH

时间常数

0.33ms

电机常数

15.69 N/√W

最高线圈温度

130°C

最大端电压

310 VDC

线圈长度

241mm

线圈质量

0.8kg

磁轨质量

17.5 kg/m

磁极距

30 mm