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ZWLM215系列气浮平台,实现滑轨与滑台零摩擦 发布时间：2023-07-25 00:00:00




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产品与应用描述

ZWLM215是纳米级定位精度的气浮平台，采用直线电机驱动，利用空气弹性势能作为支撑导轨，实现滑轨与滑台零摩擦，具备非常优秀的动态性能和定位精度。气浮平台是正负压设计，对于一些大体积负载在气浮导轨上重力不均匀分布的应用，这种设计可以更好的保证空气导轨的正常气隙，非常适合重负载的应用。
专业的设计和制造技术铸就了ZWLM215平台杰出的几何性能，ZWLM215平台有较强的驱动能力，最大空载速度2000mm/s，空载加速度可达2g。主要应用于大型光学透镜检测 、半导体领域的晶圆缺陷检测、精密制造和封装等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。


气浮平台设计特性
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应用领域
ZWLM215系列气浮平台主要应用于大型光学透镜检测 、半导体领域的晶圆缺陷检测、精密制造和封装等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。


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