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ZWLM-OFML225-R

应用场景

测量检测、生物样片加工及观测、同步加速研究、精密制造、光学对准和系统校准等需要角秒级定位精度的工业领域与科研项目

产品介绍


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产品特点

高精度气浮直驱转台

采用旋转电机直接驱动

具备非常优秀的动态性能和定位精度

市场优越的轴向、径向和倾斜误差运动性能

提供卓越的旋转定位精度、重复性和负

载能力,很容易集成到多轴运动系统中


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结构特点

低高度扁平化设计

亚角秒级别定位精度

小于 250nm 轴向和径向跳动

无槽,无刷伺服直驱电机驱动

大限度减少轴向、径向和倾斜误差运动

优秀定位性能、速度稳定性和高分辨率反馈

非接触式气浮轴承,有助于超精确运动性能


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定制化

其他尺寸接受定制


产品参数

平台型号

ZWLM-QFML225-R

转台行程

360°

载物台直径

210 mm

高度

70 mm

转角精度

±2 arc sec

重复定位精度

±0.5 arc sec

轴跳

250 nm

端跳

300 nm

最小步进量

0.5 arc sec

在位稳定性

0.5 arc sec

持续扭矩

4N.M

峰值扭矩

12 N.M

最大水平负载

100 KG

最大径向负载

50 KG

最大速度②

600 rpm

平台质量

12.5 kg

供气要求

80 psi+5 psi,加小于0.25 um空气过滤器

平台材质

平均无故障时间

20000 Hours


注释 :

(1)适配 -AS反馈,配置线性放大器;

(2)空载,需配置相应功率的放大器;

(3)默认测试点位置为台面上方 25 mm,单轴指标,多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;

(4)气缸供气需配置空滤三联件,必须清洁、干燥,过滤至 0.25um以下颗粒,建议使用纯度为 99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。

(5)为了防止空气轴承气压不足,建议安装气压开关,信号输入到运动控制器连接急停(E-STOP)端口。


外形尺寸

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