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股票代码：002851
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一款高精度三轴高精密运动台，三轴叠层结构，可用于激光加工、光学制造及检测、等要求高精度和高效率的工业项目中
产品特点 三轴直驱结构设计 Z 轴直驱平升结构 Z 轴内置气动平衡配置，最大负载 10kg XY采用高精密级直线导轨，Z轴采用抗蠕动 交叉滚柱导轨 XY采用大理石底座，行程尺寸和根据客户要求定制 |
结构特点 采用 XYZ 叠加结构，无铁芯直线电机直驱控 制，无齿槽效应，在低速下可平滑运行(速度 波动小) 同时配备非接触式高精度光栅尺，具备非常 优秀的动态性能、定位精度和重复定位精度 运动平稳，受力稳定 XY轴叠层结构，采用大理石底座，高稳态， Z轴直驱平升结构，直接移动负载升降，内置 平衡气缸，行程 10mm |
定制化 可以根据客户需求配置、行程、负载、 特殊结构等进行评估定制 |
平台型号 | ZWDM-X500-Y400-Z10-ZKHY | ||
轴系 | X轴 | Y轴 | Z轴 |
电机型号 | ZWU-30B-3 | ZWU-30B-3 (双动子) | - |
持续推力 | 153 N | 153 N | 23 N |
峰值推力 | 884 N | 884 N | 170 N |
持续电流 | 2.54 Arms | 2.54 Arms | - |
峰值电流 | 8.84 Arms | 8.84 Arms | - |
机械参数 | |||
有效行程 | 500 mm | 400 mm | 10 mm |
负载 | Z轴+5.5 kg | Z轴+X轴+5.5kg | 5.5kg |
最大速度 | 600 mm/s | 600 mm/s | 100 mm/s |
工作速度 | 200mm/s | 100 mm/s | 100 mm/s |
垂直直线度 | ±2 um | ±2 um | ±2 um |
加速度 | 0.6g | 0.6g | 0.3g |
停顿时间 | - | - | - |
重复精度 | ±1um | ±1um | ±1um |
定位精度 | ±2um | ±2um | +2 um |
水平直线度 | ±2um | ±2um | ±2 um |
PITCH | ±5 arc sec | ±5 arc sec | - |
YAW | ±5 arc sec | ±5 arc sec | - |
正交性 | ±5 arc sec | - | |
Z轴相应频率 | 3um@ 230nm@50Hz | ||
整体平面跳动 | - | ||
安装方式 | 水平安装 | ||
