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股票代码：002851
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该平台是带有中空结构的精密运动台大尺寸通孔、高动态性能满足晶圆贴片与检测应用，也适用于 CCD 成像、LED 封装检测的其它高端制造行业
产品特点 叠层式布局 紧凑型中空结构 采用高精密直线导轨 高动态性能，高精密 Y轴采用双驱直线电机驱动 行程、尺寸、线缆可接受定制 |
结构特点 采用叠层紧凑的中空外形结构 工作点位置降低，光栅反馈位置接近工作表 面，在晶圆检测中至关重要，Y轴采用双驱直 线电机驱动 可提供大推力、速度 1m/s 和准确的定位 |
定制化 可以根据客户需求配置、行程、负载、 特殊结构等进行评估定制 |
平台型号 | ZWM-X340-Y420-RB0.5 | |
机械参数 | ||
负载 | kg | 30 |
行程 | mm | X.340 Y.420 |
分辨率 | um | 0.5 |
定位精度 | um | 10 |
重复定位精度 | um | ±3 |
水平直线度 | um | 10 |
垂直直线度 | um | 10 |
安装方式 | 水平 | |
运动参数 | ||
速度 | m/s | 1 |
加速度 | mm/s2 | 20 |
停止时间 | S | 0.09 |
配件 | ||
编码器 | PCS | 2 |
光电开关 | PCS | 2 |
导轨 | PCS | 7 |
拖链 | PCS | 2 |
电机参数 | ||
电机型号 | ZW3-H55-3 | |
持续推力 | N | 413 |
峰值推力 | N | 1113 |
持续电流 | Arms | 3.23 |
峰值电流 | Arms | 8.68 |
基体材质 | 铝 | |
基体平面度 | 20 um | |
