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PlaneH

应用场景

适用于不同尺寸和工艺的晶圆检测应用

产品介绍


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产品特点

高动态性能

无摩擦无振动平滑移动

光栅尺分辨率 1nm

低热膨胀系数


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结构特点

双驱横梁均采用空气导轨的 H 桥式结构

XY -体式

低阿贝臂


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定制化

可以根据客户需求配置、行程、负载、

特殊结构等进行评估定制


产品参数


平台型号

ZWLM-PlaneH-XY-400

有效行程

400 mmx400 mm

定位精度

±0.3 um

双向重复定位精度

±0.2 um

俯仰

2.5 arc sec

偏摆

2.5 arc sec

直线度

±1.5 um

平面度

±1.5 um

分辨率

1nm

最大加速度

0.5 g

最大速度

500 mm/s

最大水平负载

30 KG

持续推力

上轴: 204N 下轴: 510N

峰值推力

上轴: 1152N  下轴: 2880 N


注释:以上测试数据在实验室环境下,测试点位于中心点上方 25mm处,由线性放大器得出

外形尺寸

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