有效行程

100mm

200mm

300mm

400mm

500 mm

定位精度

±0.2 μm

±0.3 μm

±0.3 μm

±0.4 μm

±0.5 μm

双向重复定位精度

±0.1μm

±0.1μm

±0.2 μm

±0.25μm

±0.3 μm

俯仰

+1.5 arc sec

+2.5 arc sec

+3 arc sec

±4 arc sec

±5 arc sec

偏摆

+1.5 arc sec

+2.5 arc sec

+3 arc sec

+4 arc sec

±5 arc sec

横滚

±1.5 arc sec

+2.5 arc sec

+3 arc sec

±4 arc sec

±5 arc sec

直线度

±0.5 μm

±0.6 μm

±0.75 μm

±1.5 μm

±2 μm

平面度

±0.5 μm

±0.6 μm

±0.75 μm

±1.5 μm

±2 μm

分辨率

1nm

最大加速度

2g

最大速度

1000 mm/s

最大水平负载

35 kg

最大径向负载

20 kg

持续推力

78 N

峰值推力

432 N

在位稳定性

±10 nm

工作气压

5.5bar(建议干燥空气,滤水滤油,粉尘过滤到0.5μm以下)

平台质量

19.1kg

21.3kg

23.5kg

25.7kg

27.9kg

平台材质

铝

平均无故障时间

25000Hours