有效行程

100m m

200mm

300mm

400mm

500 mm

定位精度

±0.2 μm

±0.3 μm

±0.3 μm

±0.4 μm

±0.5 μm

双向重复定位精度

±0.1μm

±0.1 μm

±0.2 μm

±0.25μm

±0.3 μm

俯仰

+1.5 arc sec

±2.5 arc sec

±3 arc sec

±4 arc sec

±5 arc sec

偏摆

+1.5 arc sec

+2.5 arc sec

+3 arc sec

±4 arc sec

+5 arc sec

横滚

+1.5 arc sec

+2.5 arc sec

±3 arc sec

±4 arc sec

±5 arc sec

直线度

±0.5 μm

±0.6 μm

±0.75 μm

±1.5 μm

±2 μm

平面度

±0.5 μm

±0.6 μm

±0.75 μm

±1.5 μm

±2μm

分辨率

1nm

最大加速度

2g

最大速度

1000 mm/s

最大水平负载

60 kg

最大径向负载

30 kg

持续推力

156 N

峰值推力

864 N

在位稳定性

±10 nm

工作气压

5.5 bar(建议干燥空气,滤水滤油,粉尘过滤到0.5μm以下)

平台质量

40.9kg

46.2kg

51.5kg

56.8kg

62.1kg

平台材质

铝

平均无故障时间

25000Hours