麦米电气旗下品牌
股票代码：002851
搜索更多信息
产品特点 高精度定位平台 高性能低成本 模块化产品 配置灵活 快插快拔，便于用户快速安装调试 可以根据需求自由选择行程(接受定制) |
结构特点 采用无铁芯直线电机控制 高负载、高精度、大行程、高刚性 精密平台具备防尘 集中注油，金属接地功能 |
定制化 更大行程可接受定制 |
平台型号 | ZWDM-DLXY-400-400-100 | ZWDM-DLXY-600-600-100 | ZWDM-DLXY-800-800-100 | |
有效行程 | 400*400*100 | 600*600*100 | 800*800*100 | |
定位精度 | ±2um | ±2um | ±2 um | |
双向重复定位精度 | ±1um | ±1um | ±1um | |
俯仰 | 15 arc sec | 20 arc sec | 25 arc sec | |
偏摆 | 15 arc sec | 20 arc sec | 25 arc sec | |
横滚 | 15 arc sec | 20 arc sec | 25 arc sec | |
直线度 | ±3 um | ±5 um | ±8 um | |
分辨率 | 100 nm | |||
最大加速度 | 1g | |||
最大速度 | 1m/s | |||
Y轴负载 | 60 KG | |||
Z轴负载 | 12 KG | |||
持续推力 | X轴 | 221 N | ||
Y轴 | 393 N | |||
P峰值推力 | X轴 | 1248 N | ||
Y轴 | 2830 N | |||
最小步进量 | 500 nm | |||
平台质量 | 1400 kg | 1500 kg | 1700 kg | |
平台材质 | 大理石 | |||
平均无故障时间 | 20000 Hours | |||
注释:以上测试数据在实验室环境下，测试点位于中心点上方 25mm处，由线性放大器 &雷尼绍激光干涉仪得出
